Sistema CVD de horno tubular de atmósfera de vacío de 1400 ℃

Sistema CVD de horno tubular de atmósfera de vacío de 1400 ℃
Proporciona un entorno experimental con vacío, atmósfera controlada y alta temperatura. Este sistema de crecimiento de CVD es adecuado para procesos de CVD, como recubrimiento de carburo de silicio, pruebas de conductividad de sustratos cerámicos, crecimiento controlado de nanoestructuras de ZnO y experimentos de sinterización en atmósfera MLCC.
  • ModeloCVD-LTF14P/ CVD-LTF14T Series
  • MarcaLABOAO
  • PuertoCualquier puerto en china
  • PaquetePaquete de caja de madera contrachapada
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DESCRIPCIÓN

Proporciona un entorno experimental con vacío, atmósfera controlada y alta temperatura.

Este sistema de crecimiento de CVD es adecuado para procesos de CVD, como recubrimiento de carburo de silicio, pruebas de conductividad de sustratos cerámicos, crecimiento controlado de nanoestructuras de ZnO y experimentos de sinterización en atmósfera MLCC.

CARACTERISTICAS

1. El horno está hecho de adsorción al vacío de fibra de mullita policristalina, el campo de temperatura es uniforme y el ahorro de energía es superior al 50%

2. La tecnología de desviación de aire y aislamiento térmico garantiza la vida útil y el efecto de temperatura constante de cada componente en la caja

3. Inicie el horno eléctrico y el extractor funcionará automáticamente al mismo tiempo. Después de la prueba, el extractor continuará funcionando hasta que la temperatura del cuerpo del horno sea inferior a 60 °C y el extractor se detendrá automáticamente, lo que protege eficazmente la superficie del cuerpo del horno.

4. Apagado automático, función de protección contra sobretemperatura, función de protección contra fugas para garantizar la seguridad de uso

5. El circuito adopta el modo de salida de calentamiento continuo, la fuente de alimentación de doble circuito y el cableado separado de corriente fuerte y débil mejora la estabilidad del sistema

6. El módulo de calefacción adopta una señal de CC para ajustar la potencia de salida, lo que evita la interferencia de la electricidad inducida en la señal de control.

7. Compensación automática del efecto de control de temperatura causado por la temperatura o el envejecimiento en el cambio del valor de resistencia de la varilla de carburo de silicio, evitando la inexactitud y el peligro de un ajuste artificial

8. Adopte un instrumento de visualización de flujo digital, coopere con el controlador de flujo másico, recopile datos y controle el flujo. Tiene las características de buena repetibilidad, velocidad de respuesta rápida, estabilidad y confiabilidad. (Sistema de control de flujo másico de gas)

9. Control automático y función de conmutación de control manual, el modo de control automático puede encender/apagar automáticamente la bomba de vacío a través del valor establecido para mantener el contenedor dentro de un cierto rango de presión de vacío. El modo de control manual utiliza al usuario para operar directamente la bomba de vacío a través del botón de encendido/apagado de la bomba de vacío. para satisfacer las necesidades de diferentes experimentos. (Sistema de control de vacío medio)

10 Tecnología de arranque lento de la válvula solenoide, de modo que la válvula solenoide se abre 10 segundos después de que se enciende la bomba de vacío, para que la presión del sistema en el tubo del horno se mantenga precisa, y también asegura que el gas de escape no volverá a la sistema de tubo de horno para afectar el efecto experimental (sistema de control de vacío medio)

PRESUPUESTO

Modelo

CVD-LTF14P40

CVD-LTF14P50

CVD-LTF14P60

CVD-LTF14P80

CVD-LTF14T40

CVD-LTF14T50

CVD-LTF14T60

CVD-LTF14T80

Rango de temperatura de funcionamiento

300~1400

Resolución de temperatura

1

Control de temperatura

± 1

Velocidad de calentamiento

0~20/minuto

Longitud de la zona de calentamiento

200mm

400mm

Longitud de la zona de temperatura   constante

70mm

140mm

grado de vacío

-0.1MPa

Tiempo de calentamiento del horno   vacío

≤15min

Tasa de calentamiento al configurar el   tubo del horno

Por debajo de 500 ≤ 5 /min;   500-1000 ≤ 10 /min; 1000-1200 ≤ 5 /min; 1000-1400 ≤ 2 /min

Exterior

Hoja de acero laminado en frío con   revestimiento resistente a productos químicos en la superficie

cuerpo del horno

Fibra de mullita policristalina

Tamaño del horno

360*350*350mm

560*350*350mm

tubo de horno

tubo de   corindón

Tamaño del tubo del horno

Φ40/34*1000

Φ50/44*1000

Φ60/50*1000

Φ80/70*1000

Calentador

varilla de carburo de silicio

Poder de calefacción

3KW

5KW

Capa de aislamiento térmico

Desviación de aire forzado de doble   capa

Camino abierto

No

Controlador

P: pantalla digital de control de   temperatura del programa importado; T: control de temperatura del programa de   pantalla táctil a color de 7 pulgadas

Método de control

Uso del control PID del microordenador

Cómo establecer

P: toque cinco botones para acción,   configuración de pantalla digital; T: toque con el dedo y toque para   configurar

método de visualización

P: pantalla digital LED de doble   línea; T: pantalla LCD a color

Sincronización

0~999,9 horas

Ejecutar función

Operación de valor fijo, operación de   programa

Modo de programa

P: programa en marcha, 4 curvas, un   total de 40 pasos; T: 50 pasos pueden llamar al programa almacenado

Sensor

Termopar tipo S

Función auxiliar

P: función de corrección; T: función   de corrección, grabación de curvas en tiempo real, exportación de datos de   disco U

Equipo de seguridad

Interruptor de protección contra fugas   de sobrecorriente

Número de rutas de aire

3 canales (la cantidad de canales de   aire se puede seleccionar según las necesidades específicas)

Rango de flujo

0-0500sccm (estándar ml/min, opcional)   estándar de nitrógeno

Precisión

±1% fondo de escala

Tiempo de respuesta

≤4 s

Temperatura de funcionamiento (caudalímetro)

5-45

Presión de trabajo

Presión de entrada 0.05-0.3MPa   (presión manométrica)

Conexión del sistema

Adopte fuelles de conexión rápida KF,   válvula de aleta manual de alto vacío e instrumento de medición de vacío con   pantalla digital

Rango de vacío del sistema

10-100Pa

Bomba aspiradora

El grado final de vacío teórico de la   bomba mecánica de dos etapas es 3x10-1Pa, la tasa de bombeo es 4L/s, la salida   de aire está equipada con un filtro de aceite, el voltaje nominal es 200V y   la potencia es 0.55Kw

Configuración del sistema CVD

Horno de tubo de vacío de 1400 grados   Sistema de control de flujo másico multicanal Sistema de vacío

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