Sistema CVD de horno tubular con atmósfera de vacío de 1600 °C

Sistema CVD de horno tubular con atmósfera de vacío de 1600 °C
El sistema CVD de horno tubular de vacío/atmósfera de 1600 °C (CVD-TF) proporciona un entorno experimental con vacío, atmósfera controlable y alta temperatura, y se utiliza en semiconductores, nanotecnología, fibra y otros campos. Este sistema de crecimiento CVD es adecuado para el proceso CVD, como el revestimiento de carburo de silicio, la prueba de conductividad del sustrato cerámico, el crecimiento controlable de la nanoestructura de ZnO, la sinterización en atmósfera de capacitores cerámicos (MLCC) y otros experimentos.
  • ModeloCVD-LTF16P/ CVD-LTF16T Series
  • MarcaLABOAO
  • PuertoCualquier puerto en china
  • PaquetePaquete de caja de madera contrachapada
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DESCRIPCIÓN

El sistema CVD de horno tubular de vacío/atmósfera de 1600 °C (CVD-TF) proporciona un entorno experimental con vacío, atmósfera controlable y alta temperatura, y se utiliza en semiconductores, nanotecnología, fibra y otros campos. Este sistema de crecimiento CVD es adecuado para el proceso CVD, como el revestimiento de carburo de silicio, la prueba de conductividad del sustrato cerámico, el crecimiento controlable de la nanoestructura de ZnO, la sinterización en atmósfera de capacitores cerámicos (MLCC) y otros experimentos.

CARACTERISTICAS

1. El horno está hecho de adsorción al vacío de fibra de mullita policristalina, el campo de temperatura es uniforme y el ahorro de energía es superior al 50%.

2. La tecnología de desviación de aire y aislamiento térmico de desarrollo propio garantiza la vida útil y el efecto de temperatura constante de cada componente en la caja

3. Cuando se inicia el horno eléctrico, el extractor de aire funcionará automáticamente al mismo tiempo. Después de la prueba, el extractor continuará funcionando hasta que la temperatura del cuerpo del horno sea inferior a 60 °C y el extractor se detendrá automáticamente, lo que protege eficazmente la superficie del cuerpo del horno.

4. La puerta del horno se abre con apagado automático, función de protección contra sobretemperatura y función de protección contra fugas para garantizar la seguridad de uso.

5. El circuito adopta el modo de salida de calentamiento continuo, la fuente de alimentación de doble circuito y el cableado separado de corriente fuerte y débil mejora la estabilidad del sistema

6. El módulo de calefacción adopta una señal de CC para ajustar la potencia de salida, lo que evita la interferencia de la electricidad inducida en la señal de control.

7. Los botones de metal de bajo voltaje se utilizan para los botones de operación, con luces indicadoras de estado, operación segura e intuitiva.

8. Los cuerpos superior e inferior del horno están conectados por enchufes de aviación, que son seguros, confiables y convenientes para conectar.

9. El conjunto del circuito de gas está hecho de acero inoxidable 316 de calidad alimentaria, que tiene resistencia a la corrosión, resistencia a la corrosión atmosférica y resistencia a altas temperaturas, y no es magnético.

10. Adopte un instrumento de visualización de flujo digital, coopere con el controlador de flujo másico, recopile datos y controle el flujo. Tiene las características de buena repetibilidad, velocidad de respuesta rápida, estabilidad y confiabilidad. (Sistema de control de flujo másico de gas)

11. Control automático y función de conmutación de control manual, el modo de control automático puede abrir/cerrar automáticamente la bomba de vacío a través del valor establecido, de modo que el contenedor se pueda mantener dentro de un cierto rango de presión de vacío. El modo de control manual utiliza al usuario para operar directamente la bomba de vacío a través del botón de encendido/apagado de la bomba de vacío. para satisfacer las necesidades de diferentes experimentos. (Sistema de control de vacío medio)

12. La tecnología de arranque lento de la válvula solenoide hace que la válvula solenoide se abra 10 segundos después de encender la bomba de vacío, de modo que la presión del sistema en el tubo del horno se mantenga precisa y también asegura que los gases de escape no regresen al horno. sistema de tubos para afectar el efecto experimental (sistema de control de vacío medio)

13. Alarma de sobrecalentamiento, bloqueo de menú, prevención de sobrecalentamiento, retraso de recuperación de energía.

14. Utilizando tecnología de válvula unidireccional, el flujo de gas se controla dentro de un rango de presión controlable para garantizar la seguridad.

15. Se adopta el dispositivo de tanque de mezcla de gas, de modo que el gas se puede introducir en la sala de trabajo después de mezclarlo completamente para garantizar que no se produzcan fugas.

PRESUPUESTO

Modelo

CVD-LTF16P50

CVD-LTF16P60

CVD-LTF16P80

CVD-LTF16P100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16P80S

CVD-LTF16P100S

CVD-LTF16T50

CVD-LTF16T60

CVD-LTF16T80

CVD-LTF16T100

CVD-LTF16P60S

CVD-LTF16T80S

CVD-LTF16T100S

Rango de temperatura de funcionamiento

300~1600

Resolución de temperatura

1

Control de temperatura

± 1

Velocidad de calentamiento

0~20/minuto

Longitud de la zona de calentamiento

260mm

600mm

Longitud de la zona de temperatura   constante

120mm

300mm

grado de vacío

-0.1MPa

Tiempo de calentamiento del horno   vacío

15 minutos

Exterior

Hoja de acero laminado en frío con   revestimiento resistente a productos químicos en la superficie

cuerpo del horno

Fibra de mullita policristalina

Tamaño del horno

440*390*330

780*390*330

tubo de horno

tubo de corindón

Tamaño del tubo del horno

φ50*1000

φ60*1000

φ80*1000

φ100*1000

φ60*1200

φ80*1200

φ100*1200

Calentador

Varilla de silicio molibdeno

Poder de calefacción

4KW

4KW

10KW

10KW

Capa de aislamiento térmico

Desviación de aire forzado de doble   capa

Controlador

P: pantalla digital de control de   temperatura del programa importado; T: control de temperatura del programa de   pantalla táctil a color de 7 pulgadas

Método de control

Use control PID de microcomputadora /   control de temperatura separado de zona de temperatura dual tipo S

Cómo establecer

P: toque los cinco botones para la   acción, configuración de pantalla digital; T: toque el dedo para configurar

método de visualización

P: pantalla digital LED de doble   línea; T: pantalla LCD a color

Sincronización

0~999,9 horas

Ejecutar función

Operación de valor fijo, operación de   programa

Modo de programa

P: Programa en ejecución, 4 curvas, 40   pasos en total; T: 50 pasos pueden llamar al programa almacenado

Sensor

Termopar tipo S

Función auxiliar

P: función de corrección; T: función   de corrección, grabación de curvas en tiempo real, exportación de datos de   disco U

Equipo de seguridad

Interruptor de protección contra fugas de sobrecorriente

Interruptor de protección contra sobrecorriente

Número de rutas de aire

3 canales (la cantidad de canales de   aire se puede seleccionar según las necesidades específicas)

Rango de flujo

0-0500sccm (estándar ml/min, opcional)   estándar de nitrógeno

Precisión

±1% fondo de escala

Tiempo de respuesta

≤4 s

Temperatura de funcionamiento   (caudalímetro)

5-45

Presión de trabajo

Presión de entrada 0.05-0.3MPa   (presión manométrica)

Conexión del sistema

Adopte fuelles de conexión rápida KF,   válvula de aleta manual de alto vacío e instrumento de medición de vacío con   pantalla digital

Rango de vacío del sistema

10-100Pa

Bomba aspiradora

El grado final de vacío teórico de la   bomba mecánica de dos etapas es 3x10-1Pa, la tasa de bombeo es 4L/s, la   salida de aire está equipada con un filtro de aceite, el voltaje nominal es   200V y la potencia es 0.55Kw

Configuración del sistema CVD

Horno de tubo de vacío de 1600 grados   (zona de temperatura única opcional, zona de temperatura doble) Sistema de   control de flujo másico multicanal Sistema de vacío

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